實驗室超聲波清洗器通過利用這些活性組分的性質來處理樣品表面，通過射頻電源在一定的壓力情況下起輝產生高能量的無序的等離子體，通過等離子體轟擊被清洗產品表面，從而實現清潔、改性、光刻膠灰化等目的。

　　清洗機中的等離子體與自然界產生的等離子體本質上是一樣的，是區別于固體、液體和氣體的另一種物質聚集態，人們稱之為物質存在的第四種狀態。它由電離的導電氣體組成，其中包括六種典型的粒子，即電子、正離子、負離子、激發態的原子或分子、基態的原子或分子以及光子。
 

　　實驗室超聲波清洗器主要由以下三大部分組成：

　　1、控制單元。現在的清洗機主要有全自動控制、半自動控制、PC控制、液晶觸摸屏控制四種控制單元，而控制單元主要由電源、控制系統、控制按鈕和操作顯示器等部分組成。

　　2、真空泵。本設備的主要動力來源就是真空泵，主要作用是將真空腔體中的空氣抽干，達到真空的環境，然后再進行清洗。真空泵主要分為干泵和油泵。干泵主要以電力為動力源，而油泵則使用汽油或柴油為動力源。

　　3、真空腔體。真空腔體就是用于清洗對象物的空間，主要有石英腔體和不銹鋼真空腔體。由于其內部采用真空滅菌防菌以及等離子清洗法，對于腔體壓力的承受有著一定的要求，所以需要采用材質較好的腔體進行配置。

　　該設備是在清洗時通入工作氣體在電磁場的作用下所激發的等離子與物體表面產生物理反應和化學反應。其中，物理反應機制是活性粒子轟擊待清洗表面，使污染物脫離表面終被真空泵吸走；化學反應機制是各種活性的粒子和污染物反應生成易揮發性的物質，再由真空泵吸走揮發性的物質，從而達到清洗目的。

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